1. 韧性样品离子减薄
a. 适用范围：一般的金属样品，韧性好，容易磨样至40~50μm。如铜合金、铝合金、镁合金、钢、铁，等等。
b. 如果样品较厚或尺寸较大，使用电火花线切割或低速锯，切取直径大于3mm，厚度大于400μm的样品。使用砂纸，将样品双面研磨至厚度为100μm左右。
c. 使用冲样器，冲取直径3mm的圆片。继续研磨至40~50μm。
d. 使用离子减薄仪进行离子减薄(通常使用Gatan 691)。离子减薄参数：初期使用4.5KeV，8度，直至出洞;接着4Kev, 5度， 20min;3~3.5Kev，3度，扫30 min，以获得良好的薄区。
e. 如果TEM观察时效果不好，需要使用低电压和低的掠射角继续减薄，直至观察到良好的薄区。
2. 脆性样品离子减薄
a. 适用范围：如陶瓷样品、各种烧结样品等，韧性差，使用凹坑仪将中心厚度研磨至40μm左右。
b. 如果样品较厚或尺寸较大，使用低速锯，切取直径大于3mm，厚度大于400μm的样品。使用砂纸，将样品双面研磨至厚度为70μm左右。
c. 使用超声波圆片切割机，切取直径3mm的圆片。
d. 为了增加强度，使用AB胶在一面粘上内径2mm的钼环或铜环。注意不要将胶弄到环的内部。
e. 使用凹坑仪，对没有粘环的一面凹坑。凹坑深度30μm左右，使得中心厚度在40μm左右。
f. 使用离子减薄仪进行离子减薄(通常使用Gatan 691)。离子减薄参数：初期使用4.5KeV，8度，直至出洞;接着4Kev, 5度， 20min;3~3.5Kev，3度，扫30 min，以获得良好的薄区。
g. 如果TEM观察时效果不好，需要使用低电压和低的掠射角继续减薄，直至观察到良好的薄区。
