● 技术指标：
1. 极限能量分辨率为0.43eV;
2. 分析室真空度优于5×10-10 mbar;
3. 能量分析范围为0-5000eV;
4. 通过能范围为1-400eV。
5. 固体样品的表面成分分析、化学态分析，取样深度一般约为1-10nm,其中金属材料为0.5-3nm，无机材料2-4nm，有机高聚物5-10nm;
● 测试原理
X射线光电子能谱分析(XPS)是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子，可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图，从而获得待测物组成。XPS主要应用是测定电子的结合能来实现对表面元素的定性分析，包括价态。
